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| 我所不负韶华践责任 抗疫攻坚谱新篇 |
| 来源: 责任编辑： 发布时间：2020-05-15 22:18:30 |
自新冠肺炎疫情发生以来，全国人民同舟共济，万众一心攻克难关。在抗击疫情的关键阶段，为了助力国家打赢这场攻坚战，我所充分发挥专业结合的技术优势，梳理抗疫物资研发清单，继额温枪用红外热电堆传感器芯片批量供货后，又成功研制出作为呼吸机核心部件的压力传感器。
顶层策划，主动作为部署指挥
新冠病毒对人类健康带来严重威胁，作为人工替代自主通气功能的主要手段，呼吸机成为挽救新冠病人生命的“终极武器”。疫情的快速发展使得作为呼吸机核心部件的压力传感器需求出现井喷，受限于技术和产能壁垒，市场处于供不应求的状态。
压力传感器是呼吸机中的核心器件，时刻监测病人呼吸强弱来控制呼吸机动作。目前压力传感器包括数字补偿式和模拟补偿式，数字补偿式集成微处理器；模拟补偿式利用激光修调补偿传感器温度漂移和零点漂移，可靠性更高，在医疗等某些高等级安全电路中应用广泛。
为抗击疫情，我所紧跟国家需求，在所领导统一部署下，在所总师精心指导下，成立了呼吸机压力传感器项目攻关组，根据市场需求，瞄准高精度模拟补偿式压力传感器，开展整体设计、芯片研发、模块组装与功能测试等攻关，在深入吃透传感器原理基础上，快速开展研发工作。
积极响应，勇于担当攻坚克难
项目启动后，攻关组充分统筹所内外资源，借助在芯片流片、高精度组装、测试计量及可靠性筛选等方面的技术积累，集中优势资源攻克技术难关，突破了背腔深硅刻蚀、超薄芯片划片、高精度芯片堆叠与传感器温度补偿等关键技术。研制的压力传感器采用双气嘴DIP8线封装，量程0~4psi、测量精度0.5%、非线性度0.1%、零偏小于2mV，达到同行先进水平，完全可替代进口产品，实现了国产化的目标。
不忘初心，研制成功助力抗疫
4月28日，我所自研的呼吸机用传感器经测试后，各项指标合格，具备了一定的批量供货能力。
该压力传感器基于MEMS工艺和厚膜工艺，具有灵敏度高、测量精度高、可靠性高、易于小型化的优点，可用于呼吸机等医疗产品，也广泛应用于航空、石油、化工等领域进行高度、风速、液体压力测量等，市场前景广阔。
呼吸机传感器的研制成功，标志着我所再次在医疗电子领域实现了技术突破，以实际行动践行了航天精神，为全球抗击疫情贡献了力量。
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