额温枪、耳温枪等非接触式人体测温仪器是对大规模人群进行发热筛查的主要工具之一，其核心部件就是红外温度传感器。3月5日，在唐磊所长部署下，所相关部门积极行动，成立红外热电堆传感器项目联合攻关组，依托装发部质量认证委员会认可的集成电路国军标生产线开展研制工作。项目采取专项日报制度，由郝沄副所长担任行政总指挥，薛智民总师担任技术指挥，下设芯片组、封装组、测试组、调度组。以一个月内完成红外热电堆传感器研制并投放市场为目标，从关键工艺开发、物资采购、设备保障、市场开发等全方位保证项目推进。

    在项目实施方案阶段，项目总师驻扎工作现场，明确研制路线，确定设计工艺方案。芯片组集中攻关，突破了晶圆背深腔刻蚀关键技术，开发出400μm深槽刻蚀工艺菜单，保证了传感器芯片的散热性能；突破了高精度多晶硅电阻关键技术，开发出多晶硅掺杂退火工艺菜单，保证了传感器芯片电参数，满足了红外热电堆传感器高灵敏度要求。封装组根据红外热电堆传感器芯片背面空腔特点，识别出芯片粘接关键工艺，完成了工艺开发验证，具备了背腔芯片封装的技术能力，同时对TO46管壳粘片、压焊设备进行了改造设计，为批量产品封装打下了基础。

协同攻关，齐心协力加快项目进度

    在项目启动后，各部门大力协同，市场部积极调研市场需求信息，科研生产部协调调动所内资源，确保芯片研制、组装、测试等工序无停顿流转，物资部提前启动所需物料采购渠道，设备管理部对关键设备备件加急申购，为项目顺利推进提供了保障。3月31日，在红外热电堆传感器芯片进入背腔刻蚀关键工艺步骤。由于刻蚀机长期超负荷运转，设备承片台顶针突然断裂，关键刻蚀步骤被迫中断。维修人员准确定位设备故障原因，在设备管理部大力协调下，备件24小时到货；维修及工艺人员会同厂家人员连夜安装调试，设备在24小时内恢复正常。

研制成功，市场应用前景广阔

    4月5日，我所自研的红外热电堆传感器芯片经测试后，全参数合格，一致性良好；额温枪样品功能正常，可实现体温准确测量。这标志着红外热电堆传感器研制成功，具备了红外热电堆传感器芯片设计制造的能力。4月7日下午，我所与深圳某公司签订了首批20万只红外热电堆传感器芯片供应合同，随后将形成165万只的月产能力，有力支撑国家及全球的抗疫战斗。
在这场万众一心、众志成城的抗疫阻击战中，我所在做好自身防疫的同时，积极履行社会责任，组织全所优势资源联合攻关，在最短的时间内研制出红外热电堆传感器并投放市场，为额温枪等防疫急需测温仪器供应注入了航天力量。